先秦法家的法治主义内在逻辑及其影响可以总结如下：

内在逻辑

法属性论：法家认为“法”是一种以赏罚为内容的具有国家强制力的成文规范，有助于强化君权，调动民力，实现富国强兵的目标。

法运行论：法家设计了“君—吏—民”以及“君—吏”两条法治运行路径，试图将包括君主在内的全体社会成员都纳入国家法治体系之中，并实现政治权力的理性化运作。

法价值论：法家着力阐述了“法”应具备的内在品格，包括法的公开性与可理解性、稳定性与内在统一性、社会适应性以及普遍性与权威性，认为这是法治能够高效运行的重要保障。

影响

对后世法律制度建设的启示：法家强调法律的权威性和强制性，主张法律面前人人平等，这些思想对后世的法律制度建设具有重要的启示作用。

对现代法治建设的借鉴意义：先秦法家的法治理论对当代法治建设仍有借鉴价值，但要实现与现代法治理念的对接，还需要经过三方面的重构与转化：君主中心主义的民主化转向，法律工具主义的主体性升格以及法律价值属性的现代性改造。

对封建社会的深远影响：法家建立了名为法治实为人治的“以法治国”封建规章体系，法律成为君王统治约束臣民的工具，为后来建立的中央集权的秦朝提供了有效的理论依据。

不足与反思

专制性：先秦法家思想虽然强调法治，但实际上为“专制”，主张轻罪重罚，推崇法家思想的秦朝统治显得血腥恐怖。

法律工具主义：法家极力夸大法律的作用，强调用重刑来治理国家，“以刑去刑”，对轻罪实行重罚，迷信法律的作用。

人性恶论：法家认为人性有恶，需要严刑峻法来约束和改造。

综上所述，先秦法家的法治主义内在逻辑包括法属性论、法运行论和法价值论，其影响深远，对后世法律制度建设、现代法治建设以及封建社会政治体制都有重要影响。然而，法家的法治思想也存在一些不足，如过分强调法律的专制性和工具主义，忽视道德和人性恶的问题，这些需要在现代法治建设中加以反思和改进。