近代形而上学唯物主义，也称为机械唯物主义，是在总结自然科学成就的基础上发展起来的唯物主义哲学。它认为原子是世界的本原，原子的属性就是物质的属性，因而具有机械性、形而上学性和历史观上的唯心主义等局限性。以下是近代形而上学唯物主义的主要代表人物及其代表作品：

十七世纪英国的唯物主义者

培根：他的著作《新工具》是唯物主义的重要文献，强调经验和归纳法。

霍布斯：他的著作《利维坦》提出了著名的“运动就是失掉一个位置而获得另一个位置”的观点，认为世界是由原子构成的机械系统。

洛克：他的著作《人类理解论》提出了心灵如白纸（tabula rasa）的理论，认为知识来源于经验。

十八世纪法国的唯物主义者

拉美特里：他的著作《人是机器》提出了人是机器的观点，强调机械运动在生命现象中的应用。

爱尔维修：他的著作《论人的理智》和《论精神》强调环境和教育对人的影响，认为人是环境的产物。

狄德罗：他是百科全书派的代表人物，组织编写了《百科全书》，推动了启蒙运动。

霍尔巴赫：他的著作《自然的体系》系统地阐述了机械唯物主义的世界观，认为宇宙是由原子和虚空构成的机械系统。

十九世纪德国的唯物主义者

费尔巴哈：他的著作《基督教的本质》对基督教进行了严厉的批判，提出了唯物主义的人性论，认为人是自然的一部分，而不是超自然的实体。

这些代表人物通过他们的著作，推动了近代形而上学唯物主义的发展，尽管他们在某些方面存在局限性，但他们的思想对后来的哲学家和科学家产生了深远的影响。